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靶材厂家为您分析溅射不起辉的常见原因

添加人:徐萧阳 发布时间:2018-12-11 16:22:30 来源:蒂姆(北京)新材料科技有限公司

靶材厂家为您分析溅射不起辉的常见原因
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磁控溅射金属靶时,无法起辉的原因有很多,常见主要原原因有:
1. 靶材安装准确否?
2. 靶材表面是否干净------------金属靶表面氧化或有不清洁物质,打磨清理干净后即可
3. 起辉电源是否正常------------检查靶电源
4. 靶与地线之间短路
----------关掉机器,把设备的溅射靶卸下来,靶附近的零件仔细清洗一下;
----------压靶盖旋的过紧,没有和靶材之间留下适当的距离,调整距离即可。
5. 永磁靶表面场强是否下降太多?
---------如果下降太多,需要更换磁钢。
6. 起辉溅射真空度与前次的差别?
---------更换不同的靶材,起辉压强不尽相同。
换靶材后需要重新调功率匹配器的,只有功率匹配调好了才能正常起辉

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