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MRC603真空溅射镀膜机
  • 价  格: 面议
  • 最小起订: 1台起订
  • 企业法人: 王明
  • 成立时间:
  • 所 在 地: [深圳/广东]
  • 发布日期: 2014年8月20日
  • 深圳市昊光机电科技应用有限公司
  • 最新供应 | 其他产品 | 公司介绍
  • 联系人:王明 (先生)
  • 经营模式: 生产/制造
  • 会员积分: 154个
  • 企业性质: 有限责任公司

1、设备名称:MRC603真空溅射镀膜机
2、设备品牌:美国MRC
3、设备规格:MRC603
4、设备介绍:
MRC603采用独特的立式结构设计及特殊结构的阴极,可实现高溅射,膜厚均匀性和高靶材有效使用率,从研发应用到大批量生产,可沉积介质膜、金属膜等,主要用于集成电路制造、平板显示器、光刻掩膜版、通讯网络、化合物半导体器件、射频功率器件和光电子器件等。
本系统可分为预真空室、溅射区域、RF离子清洗,预真空室具有基片承载盘升降机,使得装卸基片和溅射工艺同时进行,从而实现 “in-line”连续在线工作方式。12”x12”尺寸的基片承载盘,可放置不同尺寸及形状的基片。9个4” 基片/次,6个4” 基片/次,1个12” 基片/次。


联系方式
  • 深圳市昊光机电科技应用有限公司
  • 地址:深圳市龙岗区坪地镇高桥产业区麻沙旭达工业区1栋
  • 电话:0755-26985163,
  • 传真:0755-26991745
  • 联 系 人:王明 (先生)
  • 邮编:
  • qq消息

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